For device and film fablication
| Multi-target magnetron sputtering machine (ANELVA:SPC-350) |
Electron beam vapor deposition machine (ANELVA: VI-43N) |
Mask alighner (MIKASA: model MA-10) |
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For measurements
| Talystep （Taylor-Hobson:Talystep） |
MOKE system （Neoark:BH-P915-KU） |
Prober （TOEI:TKSPH-20V5） |
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| AFM/MFM （Hitachi Hightech:AFM5100N） |
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