プロセス装置
| マグネトロンスパッタ装置 (ANELVA:SPC-350) |
電子ビーム蒸着装置 (ANELVA: VI-43N) |
マスクアライメント装置 (MIKASA: model MA-10) |
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デバイス評価装置
| タリステップ （Taylor-Hobson: Talystep） |
Kerr効果測定器 （ネオアーク:BH-P915-KU） |
プローバ （TOEI:TKSPH-20V5） |
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| AFM/MFM （日立ハイテク:AFM5100N） |
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