English

プロセス装置

マグネトロンスパッタ装置
(ANELVA:SPC-350)
電子ビーム蒸着装置
(ANELVA: VI-43N)
マスクアライメント装置
(MIKASA: model MA-10)

デバイス評価装置

タリステップ
(Taylor-Hobson: Talystep)
Kerr効果測定器
(ネオアーク:BH-P915-KU)
プローバ
(TOEI:TKSPH-20V5)
AFM/MFM
(日立ハイテク:AFM5100N)

計算機

  • nVIDIA RTX2080 (8機)
  • nVIDIA RTX3080 (12機)
  • Publications