松山研究室 研究設備

プロセス装置一覧

多元マグネトロンスパッタ装置
(ANELVA : SPC-350)
RF-スパッタ装置
(ANELVA: SPF-210A)
電子ビーム蒸着装置
(ANELVA: VI-43N)






Arイオンミリング装置
(Veeco: VE-7760)
酸素プラズマアッシング装置
(YAMATO RF Generator:
model RFG-500A,
YAMATO Plasma Chamber:
model PC-101A)
ワイヤーボンダ
(WEST BOND: 7400A-15A)






マスクアライメント装置
(MIKASA: model MA-10)
スピナー(MIKASA: 1H-DS2) 各種オーブン
(YAMATO: Fine Oven DH-41)
(YAMATO:
Muffle Furnace FP-21)
(YAMATO: Dry Oven DS-42)






純水生成装置
(YAMATO: Auto Still model WA730)
ドラフトチャンバー 共用設備




電子線描画装置
レーザー描画装置
FIB
その他多数

デバイス評価装置一覧

タリステップ
(Taylor-Hobson: Talystep)
走査型電子顕微鏡-SEM-
(JEOL: KT-200)
振動試料型磁力計(東英工業)






極低温冷凍機(DAIKIN)
+磁気抵抗測定装置
(玉川製作所)
共用設備


FESEM・XRD・ESR・AES
 その他多数